用語説明

[1] ITER

「イーター」と読み、国際熱核融合実験炉の意味。核融合炉の科学的及び工学的実証を目指す大型国際プロジェクト「ITER計画」として、現在、日、米、露、欧、中、韓、印の計7極による協力のもと国際機関「ITER機構」がフランスのカダラッシュに建設を進めている。ITER計画については文部科学省等の次のWebページに記載されている。
　http://www.mext.go.jp/a_menu/shinkou/iter/021.htm　（文部科学省のWebページ）
　http://www.naka.jaea.go.jp/ITER/　（ITER機構のWebページの仮訳）

[2] ロウ付け接合

異種材料を接合する方法の1つである。母材より融点の低い金属を「ロウ」のように溶かして流し込み、一種の接着剤として用い異種材料を接合する方法である。

[3] コバール(Kovar)

鉄、ニッケル、コバルトを配合した難削合金。金属の中でも熱膨張係数は低く、また硬質ガラスやセラミックのそれと同等である。電子部品・光通信関連部品等の密閉用に重宝されている。

[4]　プラズマエッチング

反応性ガスを用いた放電により生成したプラズマ中に半導体基板をさらして、薄膜や半導体の一部または全部を除去しパターン形状を作成する微細加工技法の1つ。

[5] イオン注入

イオンビームを固体に注入する材料加工の1つである。半導体製造の分野では、半導体に不純物を添加し物理的特性を制御する手法の1つとして用いられる。

関連ホームページ

・京セラ株式会社：http://www.kyocera.co.jp/
・日立原町電子工業株式会社：http://www.hitachi-haraden.co.jp/