α対応SEM/EPMA

研磨したペレットの表面にカーボン蒸着を行ったのち、ミクロ観察よりもさらに高い倍率で局部組織の観察を行う装置。 ２次電子像、反射電子像以外にも表面元素の定性分析などが行える。
この装置はα対応のため、試料ステージ部は、気密性の高いインナーボックス内に設置されている。