SEM/EPMA
研磨したペレットの表面にカーボン蒸着を行ったのち、ミクロ観察よりもさらに高い倍率で局部組織の観察を行う装置。 2次電子像、反射電子像以外にも構成元素の定性分析などが行える。
装置仕様概要
日本電子製 JXA-8800
X線分光器
TAP・PET・LIF・LDE2
加速電圧
0.2〜40kv
電子銃
LaB
6
(熱電子放射型電子銃)
照射電流範囲
10
-12
〜10
-5
A
分析元素範囲
6
C〜
94
Pu