・平成14年1月17日 瑞浪市有地「土地賃貸借契約」及び「土地賃貸借契約に係る協定」締結 ・平成14年4月 1日 瑞浪超深地層研究所開所 ・平成14年7月 8日 瑞浪超深地層研究所着工式を開催 ・平成14年10月22日 瑞浪市有地「土地賃貸借変更契約」締結 ・平成15年7月17日 立坑掘削工事に着手 ・平成17年6月16日 深度100m予備ステージ貫通 ・平成17年11月14日 岐阜県及び瑞浪市と「瑞浪超深地層研究所に係る環境保全協定書」締結 ・平成19年9月10日 深度200m予備ステージ貫通 ・平成21年1月10日 深度300m予備ステージ貫通
