用語説明
- i）スラリー
- 細かい固体粒子が水の中に懸濁している懸濁液、あるいは固体と液体との混合物。
- ii）モジュール
- 選択的に金属を除去できるイオン交換繊維を充填した円筒状の部品。
半導体、フラットパネルディスプレー（FPD）製造工程に使用される薬液・スラリーから金属を除去処理する装置に取り付けて、使用する。
- iii）グラフト重合
- 放射線グラフト重合技術はプラスチック基材をガンマ線や電子線などの放射線を照射した後、試薬と反応させて、接ぎ木のように分子の枝を導入し、基材の特性を改良することができる。
- iv）レジスト
- 製版、プリント基板、半導体ウェハー状に作製した薄膜で、光や電子線を照射して溶解性を変化させ、その後、剥離用の有機溶剤で不要な部分を除去する。製版、プリント基板、半導体ウェハーなどの加工過程に使用される。
- v）ppb(ピィ・ピィ・ビー）
- part per billion の略で、ppbは10億分の1を示す単位として、極微量の濃度や割合を表すときに使用される。
- vi）イオン交換繊維
- 金属イオンに対して強い結合力をもつ化学構造を持つ繊維状の材料。金属が溶け込んだ水の中にこの材料を漬けると、金属イオンが結合し、除去することができる。
- vii）イオン交換樹脂
- 金属イオンに対して強い結合力をもつ化学構造を持つ粒状の材料。金属が溶け込んだ水の中にこの材料を漬けると、金属イオンが結合し、除去することができる。
- viii）ポリエチレン
- メチレン（-CH2-）のくり返しのみで構成されている最も単純な構造をもつ高分子であり、容器や包装用フィルムなど様々な用途に利用されている。一般に酸やアルカリに安定で、耐薬性に非常に優れる。
- ix）不織布（ふしょくふ）
- 繊維を熱等の作用によって接着または絡み合わせることで布状にしたもので、大量生産ができ、安価である。厚みや空隙を簡単に変更でき、ランダムに結合されたものは、強度や伸びなどに方向性を持たない。